剑网3指尖江湖ios下载:何剛教授課題組實現場效應器件界面有效鈍化和低成本構筑柔性薄膜晶體管

剑网3指尖江湖七秀跟宠怎么获得 www.dlgzg.icu 發布時間:2019-05-15

本網訊(物理與材料科學學院供稿)近日,我校物理與材料科學學院何剛教授課題組在MOS疊層柵的界面態控制及器件性能優化、低溫構筑高性能薄膜晶體管及邏輯反相器方面取得重要進展,相關研究結果以Low-Voltage-Operating Transistors and Logic Circuits Based on Water-Driven ZrGdOx Dielectric with Low Cost ZnSnO“Comparative passivation effect of ALD-driven HfO2 and Al2O3 buffer layers on the interface chemistry and electrical characteristics of Dy-based gate dielectrics”在電子器件專業期刊《ACS Applied Electronic Materials》和材料知名期刊《Journal of Materials Chemistry C》在線發表。

論文鏈接:https://pubs.acs.org.ccindex.cn/doi/10.1021/acsaelm.9b00110

     https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2019/tc/c8tc05736b


課題組利用原子層前驅體的自清潔效應和快速熱退火的有機結合,有效調控了溝道層界面態密度,利用稀土元素摻雜抑制了鉿基柵介質的本征缺陷和器件的漏流,器件性能良好。利用全水溶液工藝制備了基于稀土元素摻雜的柵介質,低溫構筑了高性能的薄膜晶體管和邏輯反相器。超薄高k柵介質和薄膜晶體管是柔性顯示器件領域的研究重點,同時也是低功耗顯示器、CMOS集成電路必不可少的組成部分。該研究利用價格低廉的全水溶液工藝低溫制備了性能優異的高k柵介質薄膜,且器件能低壓穩定操作,反相器增益和動態響應良好。相關的研究結果對低能耗柔性器件的發展具有重要的意義。

該研究工作得到了國家自然科學基金、安徽省自然科學基金、物科院開放基金等項目的資助。

 


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